Boor11 trikloriid pooljuht dopant pooljuht kuiv söövitus
Toote sissejuhatus
Normaalse temperatuuri ja rõhu korral on boortrikloriid (BCL 3 ) värvitu suitsugaas, mis on tuleohtlik, terav, happeline lõhn. Boortrikloriid laguneb vesinikkloriidhappeks ja boorhappeks ning vabastab palju soojust, mis puutub kokku veega, see tekitab hüdrolüüsi tõttu niiskes õhus suitsu ja BCL 3 laguneb alkoholis sisalduva vesinikkloriidhappe ja boorhappe estriks. Boortrikloriidil on tugev reaktsioonivõime ja see võib moodustada mitmesuguseid koordinatsiooniühendeid. Boortrikloriid võib kuumutamisel reageerida klaasi ja keraamilisega ning see reageerib ka paljude orgaaniliste ühenditega, moodustades mitmesuguseid organoboronühendeid. Suure puhtusega boor11 trikloriidi kasutatakse peamiselt difusiooni dopinguks (räni) pooljuhtide tootmisprotsessis. Boori lisandid genereeritakse BCL 3 lagunemisega ja hajub räni suunas, moodustades kõrgel temperatuuril p-tüüpi pooljuhti. BCL 3 saab kasutada ka Al, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI ja muude materjalide kuivaks söövitamiseks .
Kvaliteedi spetsifikatsioon
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Rakendus
Boortrikloriidi saab kasutada kõrge puhta boori, orgaanilise sünteesi katalüsaatorina, silikaalseks lagunemiseks mõeldud aineks ning seda kasutati ka deoksüdeerija, nitriidide ja karbiidide lisandina sulami rafineerimisel. Kõrge puhast booron11 trikloriidi kasutatakse peamiselt difusiooni dopingul, ioonide implantatsioonil, kuiva söövitamisel ja muude protsessides pooljuhtide seadmetes ja integreeritud vooluringi tootmisel.
Pakendamine ja salvestusruum
Boron11 trikloriid on silindris täidetud. Booron11 trikloriidiga täidetud silindr vastab GB14193 asjakohastele sätetele. Pakendi spetsifikatsioonid sisaldavad 10L ja 47L. Toode on hoitud varjulises, kuivas ja ventilatsioonis alla 60 ℃ . Päikese käes on keelatud ja hoiab kuumaallikatest eemale. Pakett tuleb pitseerida ja seda tuleb eraldi säilitada leelise ja muude ohtlike artiklitega.
Contact Now
